Сегодня микроэлектроника – по-прежнему один из основных катализаторов научно-технического прогресса важнейших отраслей народного хозяйства. А уровень развития и объемы производства ее основных изделий – интегральных микросхем (ИМС) – во многом определяет оборонный, экономический и культурный потенциал страны.
В общем случае производство интегральных микросхем можно разделить на три фазы: производство материалов, изготовление пластин, а также сборка с испытаниями и измерениями. Максимальное потребление высокочистой воды характерно для второго этапа, на котором проводится отмывка уже готовых пластин различной топологии.
Высокие требования качеству подготовленной воды предъявляются также в производстве полупроводников, жидкокристаллических дисплеев.
Мы проектируем и производим системы водоподготовки для получения ультрачистой воды для предприятий микроэлектроники.
Конструкция оборудования с модульным принципом построения позволяет обеспечить выход по глубокообессоленной воде от 10 л/ч до 1000 м3/ч и выше. Применяемые технологии позволяют обеспечить непрерывное производство высокочистой воды со стабильным качеством.
Разработанные и запатентованные интегрированные мембранные технологии на основе обратного осмоса (ДВС-М) и непрерывной электродеионизации позволяют получить фильтрат с качеством, необходимым в технологиях на уровне 180 и даже 65 нм.
Отзывы
За 16 лет работы фирма успела зарекомендовать себя с наилучшей стороны в отношении оказания услуг по внедрению (вводу в эксплуатацию) и обслуживанию оборудования и технологических систем, обеспечивающих даже самую сложную очистку воды.